Ионно Плазменные Технологии

Ионно-плазменная технология нанесения трибологических

alt
Информация об Авторе

Для нанесения покрытий на поверхность обрабатывающего инструмента, деталей и узлов используются потоки ионов и плазмы, генерируемые в условиях вакуума или при атмосферном давлении. Наиболее интенсивному воздействию подвергаются поверхностные слои деталей, контактирующие между собой (пары трения, подшипники). Широкими возможностями для нанесения покрытий обладают вакуумные установки, содержащие дуговые испарители и распылительные магнетронные источники [1]. Скорость нанесения защитных покрытий дуговым методом выше, чем магнетронным. Однако микрокапельный режим дугового испарения металла на катоде приводит к образованию микрокапель размером в единицы - десятки микрометров на поверхности обрабатываемых изделий. При этом шероховатость поверхности возрастает. Магнетронный метод нанесения покрытий обычно применяется для получения пленок толщиной до 10 мкм. Дуговые и магнетронные источники имеют различные конструкции магнитных систем для управления дуговым и магнетронным разрядами [2, 3]. Общим является форма катода. Обычно применяются плоские дисковые и прямоугольные катоды.Ионно-плазменная технология нанесения трибологических износостойких покрытий на внутренние поверхности деталей и узлов Для магнетронных и дуговых установок промышленного применения используется также длинные вращающиеся цилиндрические катоды для увеличения степени использования материала катода. В источниках с цилиндрическими катодами она составляет 70-80%, в магнетронных источниках с дисковыми и прямоугольными катодами используется только 25-30% материала катода.

Технологии нанесения трибологических покрытий на внутренние поверхности деталей и узлов начинает внедряться в промышленности. Зарубежная компания Mahle применяет ионно-плазменное нанесение покрытий на рабочие поверхности подшипников, маркируя их "Sputter" (катодное распыление). Такие подшипники с плазменной обработкой поверхности используют в производстве двигателей легковых и грузовых автомобилей Audi, Mercedes-Benz, MAN.

1. Вакуумные установки для нанесения покрытий

Традиционная конструкция вакуумной установки для нанесения покрытий (рис. 1) включает в себя один или несколько плазменных источников магнетронного или дугового типов, расположенных на боковой поверхности цилиндрической вакуумной камеры. Внутри вакуумной камеры находится карусельно-планетарный механизм вращения обрабатываемых образцов для получения однородного покрытия. Вакуумная камера оснащается ионным источником и нагревательным элементом для предварительной очистки и подготовки обрабатываемой поверхности.


Инструкции по ремонту машин Ауди А6 С4 http://www.audimanual.ru/A6/C4
Похожие страницы: